フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット（アクチュエータ）が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のＴダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Ｔダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

樹脂製歯車：高機能ポリマー「イグリデュール製ギア」、無給油で軽量

かさ歯車、平歯車、ラックまで。耐摩耗性があり無給油で使えるポリマー製ギ…

摩耗特性が最適化されたイグリデュール材から作成した歯車は、PLA/ABS/POM製に比べてはるかに長寿命です。平歯車、ウォームホイール、かさ歯車以外にも、楕円歯車、クラウンギア、ラック、ウォームギアにも理想的です。 【なぜ無潤滑？無給油？】 イグリデュ...

メーカー・取り扱い企業： イグス株式会社

3Dプリント製プラスチック歯車：SLS方式、無給油＆長寿命

樹脂パウダーからSLS方式でどんな形状も実現。金型や機械加工不要

摩耗特性が最適化されたイグリデュール材のパウダーから作成した歯車は、PLA/ABS/POM製に比べてはるかに長寿命です。平歯車、ウォームホイール、かさ歯車以外にも、楕円歯車、クラウンギア、ラック、ウォームギアにも理想的です。 【なぜ無潤滑？無給油？】 イグリデュ...

メーカー・取り扱い企業： イグス株式会社