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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…
Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット(アクチュエータ)が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のTダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Tダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...
メーカー・取り扱い企業: 伊藤忠マシンテクノス株式会社
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バイオプラに実績のあるVASU製。グリーンポリエチレン(グリーンPE)…
可燃物として処理できるバイオマスプラスチックです。 4つの強み ・石油プラスチック同等の機能性 ・脱プラスチックへの第一歩 ・CO2排出量削減効果 ・低コスト 【石油プラスチック同等の機能性】 石油由来のプラスチック同等の成形性、利便性、強度、品質があり石油由来のプラスチックと同様の機能性をもっています。 【脱プラスチックへの第一歩】 バイオマス度40%になり、有限...
メーカー・取り扱い企業: 八洲電装株式会社 本社
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