フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット（アクチュエータ）が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のＴダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Ｔダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

環境素材（発泡PLAシート）『PLAiR』

未来の子どもたちのために「植物と空気」を選びました。様々な用途に利用で…

『PLAiR』は、未来の子どもたちのために生まれた植物由来の素材です。 焼却しても大気中の二酸化炭素を増加させず、土中や堆肥などある 一定の環境下で水と二酸化炭素に分解するという環境に配慮した ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マブチ

OPPテープ『tesa(R)60400』

梱包テープにもサステナブルな選択肢。製品に含まれる炭素の98％がバイオ…

『tesa(R)60400』は、工場植物由来の プラスチックフィルム(ポリ乳酸：PLA)を使用したOPPテープです。 粘着剤の原料に天然素材(天然ゴム・天然樹脂)を使用、 環境への負荷低減のため、VOCフリー製法で粘着剤を塗工。 また、OPPテープなど従来品からの切り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マブチ