フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

g を10秒で20℃→700℃） ラジオのチューニングのように発振周波数（5.7〜6.0GHz　連続可変式）の可変が可能。 オプションとしてパルス巾変調・FM変調・AM変調・発振周波数の掃引・PLL式周波数発生器、出力電力のパターン運転やパソコンとのリンク、試験管、石英管、フッ素チューブ等を用いた減圧、ガス置換などができます。 主な仕様はマイクロ波出力:130W、電源入力：単相 AC100...

メーカー・取り扱い企業： 富士電波工機株式会社 第1機器部