フォトマスク洗浄装置（セミオート）

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」 　◎スクラブや2流体処理時には、スキャン旋回機能が標準搭載 　◎DIW2流体ツールで、優れたパーティクル除去 　◎スクラブブラシは、ナイロン刷毛ブラシ or PVAブラシを基板表面状態で選択 ■各種オプションで多様なニーズに対応 　◎<洗剤の自動希釈><ブラシの自己超音波洗浄><CO2イオナイザー><MS洗浄> ■基板のC/C自動搬送処理装置にも対応実...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング