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半導体前駆体市場の概要
半導体前駆体は、半導体薄膜堆積プロセスの中核となる製造材料である。これらは高いバリアと高い成長性を持つ。半導体製造プロセスで使用され、ターゲット元素を運ぶ。気体または揮発性の液体であり、化学的および熱的安定性を有し、対応する反応性または物理的特性を有する。薄膜、フォトリソグラフィ、相互接続、ドーピング技術などを含む半導体製造プロセスにおいて、前駆体は主に蒸着(物理蒸着PVD、化学蒸着CVD、原子蒸...
メーカー・取り扱い企業: QY Research株式会社 QY Research
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ALD(アトミックレイヤーデポジション) アプリケーション例
ALD(アトミックレイヤーデポジション) アプリケーション例を写真付き…
当社では、フィンランド・Picosun社のALD成膜装置を取り扱っております。 ALD (アトミックレイヤーデポジション)は、既存のPVD, CVD,蒸着等の 成膜技術より、段差被覆性に優れ、膜厚が1原子層レベルで制御でき、 バリア性が高く膜質が良いなどの特長があります。 当資料では、アプリケーション例を写真でご紹介しています。 【アプリケーション例】 ■トレンチの成膜 ...
メーカー・取り扱い企業: PICOSUN JAPAN株式会社
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