真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:330mm、440mm、500mm、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル