真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズジェーイーエル

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)と、溶接ベローズ(ストローク60mm)で耐真空度は1.33×10＾-6Paとなります。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

【特徴】
○アームバリエーション:330mm
○Z軸バリエーション:60mm
○可搬重量:第3関節にて10kgf以下
○アーム関節部には、磁性流体シール装備
○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用
○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸2相ステッピングモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
○ウェーハ保持:落し込み、自重グリップチャック
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

価格情報	お問い合わせ下さい。
納期	お問い合わせください ※お問い合わせ下さい。
用途／実績例	●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。