真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ http://www.ipros.jp/public/product/image/2cc/2000143866/IPROS124766725639609401.JPG 【特徴】 ○アームバリエーション:330mm ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ○ウェーハ保持:落し込み、自重グリップチャック ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 株式会社ジェーイーエル 製造・加工機械 > 産業用ロボット > 搬送・ハンドリングロボット
  • 真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。
    株式会社ジェーイーエル
    真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)と、溶接ベローズ(ストローク60mm)で耐真空度は1.33×10^-6Paとなります。
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基本情報真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

【特徴】
○アームバリエーション:330mm
○Z軸バリエーション:60mm
○可搬重量:第3関節にて10kgf以下
○アーム関節部には、磁性流体シール装備
○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用
○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸2相ステッピングモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
○ウェーハ保持:落し込み、自重グリップチャック
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

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よく使用される業種

産業用機械、機械要素・部品、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、光学機器、自動車・輸送機器、航空・宇宙、医療機器、その他

カタログ真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

  • 【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
    真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂ける「真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ」

取扱会社真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

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