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ロボットの教示作業時に使用し、エラーコードなどの読み取りが可能です。
3ポジション デッドマンスイッチを搭載 ティーチング操作しやすい、片手持ちデザイン。軽量500g(ケーブル除く) 内部ソフトによる、押しボタンの自己診断機能搭載...入力電圧 DC5V(±5%) 通信 RS232C 環境 0~40℃ (ただし結露しないこと) 付属ケーブル 5mまで 非常停止接点 A接点 外形寸法 W118×H225×D33(非常停止ボタン含まず)コントラスト調整用穴...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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450mmウェーハ搬送システム
450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能(オプション)。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP(450mmウェーハ)へアクセス可能 可搬重量:アーム第3関節換算5k...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ
真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。
ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:330mm、440mm、500mm、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。
水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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