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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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VIAホール、部品穴、長穴に対応。スルーホールの品質向上に貢献します。
「SHC-1200」は、高精度検査により、穴詰まりやバリなどの不良を検出します。同時に複数枚の検査ができ、ワークサイズでの検査だけではなく、出荷前の検査にも対応できます。丸穴と長穴で、別々の検査許容を設定...
メーカー・取り扱い企業: シライ電子工業株式会社 ソリューション事業本部
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