フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

アルミ製コンテナ台車伸縮式／品番　M1085SHC-3DXH

アルミ製伸縮式

●前と側面のガードが伸縮した色々な種類のコンテナに対応します。 ●タイヤは動きがスムーズなベアリング付空気入りタイヤ(M1085SHC-3DXH)と、ソフトノンパンクタイヤでパンクの心配なし(M1085SHC-3NPH)があります。 ●20kgコンテナ1個載せ用のハウスカーです。 ●総重量5.5kgと軽量なので取扱いが楽に出...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業