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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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簡単大気圧でSiO2コーティング!プラズマコートUL-Colat
弊社にてデモ可能! 市場初投入の新技術。大気圧プラズマでCVD。 …
今まで減圧下で行っていたプラズマCVDによるSiO2製膜を大気圧下で行えます。 厚みは処理条件によりコントロール可能。(速度、液量、距離など) 今までの大型CVD装置では対応しきれない少量生産や、細かな条件変更を可能にし、製膜コストを安く抑える事が可能です。 操作はタッチパネルでの簡単操作。条件設定を記憶させる事で次回以降も同じ条件で製膜をする事が可能です。 プラズマ処理装置を用い...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社
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