実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

Yano E plus 2019年5月　エアロゲルの動向

定期刊行物「Yano E plus」の 2019年5月号です。

により、「ゲル骨格を保ったまま内部の液体を気体に置き換えられるか」という命題を考察した結果得られた、細かく均一な空孔と骨格を有する極めて低密度な構造体である。 エアロゲルは、これまで、シリカ（SiO2）、アルミナ（Al2O3）、チタニア（TiO2）、有機ポリマー、カーボン（C）をはじめ、さまざまな物質で作製されており、断熱材、電極、触媒担体などへの応用研究が古くから行なわれてきた。 ただ、そ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社矢野経済研究所