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a-SiC:H(堅牢膜)等のパッシベーション膜形成が可能!高密度プラズ…
シベーション膜の特長】 ■現在、業界で注目されている、以下4種の膜形成が可能 ・a-SiC:H(堅牢膜) ・a-C:H(不活性で耐摩耗性膜) ・SiN(ストレスと堅牢制御膜) ・SiO2:BioMEMS(低ストレスで高い絶縁破壊膜) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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