分光楕円偏光解析装置　分光エリプソメータMASS-105

多層膜など多くのパラメーターが一度に解析！小型・高速分光エリプソメータ

48分割CCD採用のマルチチャンネル対応を使用 ○解析力 →分光解析ソフトウエアー“SCOUT”を標準装備 ○再現性 →光再現性測定を実現 ○信頼性 →校正時、NIST基準数種の膜厚のSiO2/SIサンプル →2種のガラス基板の光学定数測定 【仕様】 ○測定方式：回転位相子法（RQ法） ○光源：150W Ha ランプ ○ビーム経：約φ1～5mm ○入射角：約70・60・...

メーカー・取り扱い企業： ファイブラボ株式会社

分光楕円偏光解析装置　分光エリプソメータMASS-103

サンプル水平置きタイプで、多彩なサンプルに対応が可能！

解析力 →分光解析ソフトウエアー“SCOUT”を標準装備 ○再現性 →オプティカルエンコーダとホールモータの組み合わせにより高再測定を実現 ○信頼性 →校正時、NIST基準の数種の膜厚のSiO2/SIサンプル →2種のガラス基板の光学定数測定 【仕様】 ○測定方式：回転位相子法 ○光源：150Ｗ Ha ランプ ○ビーム経：約φ1～5mm ○入射角：約70・60・50 度手...

メーカー・取り扱い企業： ファイブラボ株式会社