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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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膜厚の測定に好適。多層膜厚み同時測定も可能な非接触ポータブル膜厚計
ます。 研究室のみならず、 現場でも使いやすいThetaMetrisis社の非接触型の膜厚計です。 【特長】 ○多層膜厚み同時測定も可能! →例:PMMA/poly-Si/Si3N4/SiO2 10層までの膜厚を測定できます。 ○リアルタイムモニタリングなど 未乾燥の塗膜、硬化収縮率、膨張性、各製造工程での現場検査、成膜モニタ、化学反応、生化学反応などご利用できます。 ○光学特...
メーカー・取り扱い企業: オーテックス株式会社
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