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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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卓上型で実験機に最適。杵をモータで強制回転させる機構を採用し、より高い…
き 【好適使用事例】 ・研究開発向け実験機として、少量の下記材料の擂潰(擂り潰し)、分散にご採用いただいております。 ‐チタン(Ti) 、ジルコニア(ZrO2)、シリカ(二酸化ケイ素 SiO2)、アルミナ・酸化アルミニウム(Al2O3)、α-リン酸三カルシウムセラミック ハイドロキシア、シリコンカーバイト(SiC)窒化アルミ(AlN)、窒化ケイ素(Si3N4)等のセラミックス材料 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社石川工場
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