プラズマCVD成膜
ガスを化学反応させることで緻密な薄膜を形成!低温加工も可能です。
プレーティング法、真空蒸着法に加え、 プラズマCVD法によるコーティングサービスも行っております。 現在、プラズマCVD法での対応膜種は、DLC(Diamond-Like Carbon)、SiO2、SiN、SiCの4膜種とさせていただいております。...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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