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Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。 …
ットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。 ・Pure Etch 160（ AlダメージレスSiエッチング液）の前処理液としても使用可能です。 キーワード：ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜...
メーカー・取り扱い企業： 林純薬工業株式会社 電子材料部
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