実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

スプレードライ　事例紹介Vol.3「ナノテク・材料分野」

自動車部品・光触媒および生体埋め込み装置など、ナノ材料のコーティング噴…

ー ○ナノAl2O3アグロメレート →プラズマスプレーコーティング、ナノ粒子懸濁液 ○ゴム複合材料のカーボンナノチューブ →ゴムへの添加物、分散性、硬度、および強度の向上 ○シリカゲル（SiO2）微粒子 →非経口ドラッグデリバリー制御のためのキャリア材料 ○中空ガラススフィア →水素ガスの貯蔵、燃料電池、光拡散剤 ○メソポーラスシリカ →触媒、分離、およびセンサー技術向け材料 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ビュッヒ株式会社