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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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2重構造チャンバによるメンテナンス負荷低減と内容積のコンパクト化を実現…
成膜温度:400℃(600℃対応ヒータ開発中) ・基本構成サイズ:2160×890×1940mm プリカーサ本数:最大5本 【成膜応用事例】 Al₂O₃ TiO₂ HfO₂ ZrO₂ SiO2 Ta2O5 TiN Sin 他膜種も対応致します。 【ALD受託成膜サービス】 弊社、相模原事業部内のALD成膜装置を使用し、受託成膜を行っております。ご要望のプリカーサによる成膜をお手...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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