【資料】Cu/Moエッチング液 SDM ver.70

Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！

μm、CD下が0.99μm、T角が40度。 Cu15kppmまでの全7パターンの結果をご紹介しております。 【掲載内容】 ■薬液開発による課題解決提案 ■PESENG製品使用部位 ■TFT製造工程～金属配線加工用薬液＋樹脂レジスト剥離液～ ■金属配線加工用薬液 ■PESENG基板実験条件概要 ■SDMver.70評価試験～Cu0-15kppm～ ※詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社

【資料】Cu/Moエッチング液 SDM ver.69

Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！

、評価試験として、Cu0から15kppmの断面図や、CD上/CD下/T角の 結果を表でご紹介しております。 【掲載内容】 ■薬液開発による課題解決提案 ■PESENG製品使用部位 ■TFT製造工程～金属配線加工用薬液＋樹脂レジスト剥離液～ ■金属配線加工用薬液 ■PESENG基板実験条件概要 ■SDMver.69評価試験～Cu0-15kppm～ ※詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社