ウェハ移載装置

オリフラ合わせはスイッチにて切替可能！中央部で偶数列のウェハを反転させ…

当社が取り扱う、『ウェハ移載装置』をご紹介します。 左右2台のキャリアハンドラーにより、1～6個のキャリアを高速搬送。 オリフラ合わせは、上合せ、下合せがスイッチにて切替可能です。 中央部で偶数列のウェハを反転させることができ、奇数列反転は オプションとなっております。 【主な仕様】 ■対象ウェハ：4 OR 5 OR 6インチの専用機 ■移載キャリア数：1～6個任意 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学