エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

試作・少ロット専門！金属プレス加工【設計意図を即、カタチに！】

PR「プレスでは無理かな？」と思っても、まずはご相談ください！設計意図を即…

自由曲面や深絞りなど3次元形状の金属部品を1個からでも プレス加工でスピーディーかつ高品位に仕上げます。 35t～600tまでの油圧プレスを有し、 例えば自動車部品なら ブラケット類からピラー・フレームなどホワイトボディ構成の 構造部材類程度のサイズまで試作対応が可能。 また、高速油圧プレスによる小ロットや限定プレス部品の短期納入にも併せて対応します。 【特長】 ■600...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社加川製作所

【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　XY軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXY軸ステージです…

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXY軸ステージです。 ストロークは100/100μmから300/300μm、分解能は2/2nmから6/6nmまでの５つのラインナップからお選びいただけます。 移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラ...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ

SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mm…

い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　XY軸

高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。ストロークは30/3…

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXY軸ステージです。 XY軸ステージはストロークが30/30μmから500/500μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで 圧電素子の高...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ　XY軸

超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60…

【特長】 ○防塵・防滴対策 ○大発生力圧電素子 ○高剛性 【仕様】 ○XY軸高速駆動　PU2H60F-012U →ストローク：12/12nm →分解能：1nm →繰り返し精度：±1nm →共振周波数：3100Hz →本体サイズ：60×60×40mm ○XY軸精密位置決め　...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社