エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

精密薄型アライメントステージ 自動 一体型XYθステージ

電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適

全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、 評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』...＿...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナデン 本社

自動XYステージ(ストローク100mm)

高精度自動XYステージを採用し、様々な検出器が搭載できる測定ユニット

自動XYステージの移動範囲は100ｍｍ×100ｍｍ。　 高精度ステージを搭載した測定ユニットです。 ステージ制御をＰＣで行い測定位置までの移動、駆動プログラムより動作が可能です。 検出器の取付板を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナデン 本社

位置決めステージ『モンブランシリーズ』

カスタムメイドの経験を凝縮した汎用高精度位置決めステージ

ニットなどのラインアップが豊富で、 小型液晶パネルのアライメント、電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動X／XYステージ ●自動Zステージ ●自動回転ステージ ●自動スイベルステージ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナデン 本社