エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

卓上型セミオートダイボンダー/フリップチップボンダー

少量多品種生産、研究開発に好適！シンプルな操作性で簡単にチップ・微細部…

タイプ　(XYZ軸全てマニュアル操作） 　　モデル:T-4909 　　　　　:T-5100 　　　　　:T-5100-W(ウェハテーブル突き上げ機構搭載モデル) ・マニュアルタイプ（XYステージマニュアル、Z軸モーター制御） 　　モデル：T-5300 　　　　　 : T-5300-W（ウェハテーブル突き上げ機構搭載モデル） ・高荷重ボンディング用タイプ（最大 50kg、Z軸モ...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

ダイボンダー/フリップチップボンダー FALCONシリーズ

マルチな高精度部品搭載に対応！高度な荷重制御が要求されるアプリケーショ…

などを取り付けたフルオート仕様に対応可能な上位モデルもあり、 弊社自社製品ですので、ご希望のカスタマイズ仕様にも柔軟に対応いたします。 【特長】 ■操作性 　ジョイスティックを使用しスムーズなXYステージ操作性を実現 　基本的な操作はジョイスティックで完結できる簡単操作仕様 ■荷重制御 　モーターによるプログラム操作（Z軸分解能μm）とVCM制御（OP）による荷重制御で 　高度な荷重制御が要求さ...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社