エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

XY軸・高速応答・薄型ピエゾステージ『ML-20XYL』

ローコスト！一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が優れていま…

『ML-20XYL』は、薄型設計のXY軸・高速応答・薄型ピエゾステージです。 変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組合せることで高精度な 位置決めが可能。 他にも、可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入可能な「Z軸・高速応答・ 透過窓付きピエゾステージ」などをご用意しております。 【特長】 ■薄型 6mm ■透過窓 □20mm ■ローコスト ■一体弾性ヒンジ機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キーストンインターナショナル

高精度リニアポジショニングステージ

ドライバー&コントローラー内蔵、コンピューター制御 「Simple,…

一般的なリニアステージには、外部コントローラやモーター駆動回路、フィードバック回路、リミットスイッチ、および軸ごとに複数のケーブルが必要です。 Dover社製Smart Stage ポジショナーには、高性能コントローラとすべてのハードウェアが組み込まれています。...●単軸 / 2軸(XY)(全4種類) ●各ストローク：50mm, 100mm, 150mm, 200mm ●各分解能：5nm ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キーストンインターナショナル

超小型精密ステージ

超小型精密ステージ

・低価格 ・超小型 ・超軽量 ・バックラッシュ無し ・貫通取り付け穴のスライダー ・X、XY、XYZ、XZ の組み合わせ自由...ナショナルアパチャー社の超小型精密ステージ ”MicroMini”は、現在市場で購入できる最も小さな、そしてサブミクロンのレゾリューションを持ったステージです。 これらのステージは、前述のピンホールアパチャーの位置だしの他、一般的な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キーストンインターナショナル