【超薄型・大開口部】高性能ピエゾステージ

低ノイズ・高分解能・高再現性のクローズドループ制御対応の高性能ピエゾス…

・移動距離 最大800μm (XY)、最大300μm (Z) ・超薄型モデルあり ・大きな開口部モデルあり 　　・40 x 40 mm 　　・66 x 66 mm 　　・83 x 66 mm 　　・83.6 x 54 mm 　　・128.5 x 86.5 mm ・クローズドループ制御 ・低ノイズ、pmレベル ・粗動位置調整用のマニュアルステージとのハイブリッドモデルもご提供 ...

メーカー・取り扱い企業： MSHシステムズ株式会社