簡易型UVナノインプリント装置ImpFlex Essential

高微細化、低コスト、高スループットのナノインプリントリソグラフィー

【仕様概要】 ○対応ウェハーサイズ：最大¢6インチ ○インプリント加重：最大1000N ○モールドサイズ：ロ10mm～90mm ○インプリントシーケンス：ステップ＆リピート ○XYステージ：手動スライド式 ○アライメント顕微鏡：オプション ○UV硬化樹脂：大気中スピンコータにて塗布 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック