2ステージタイプ汎用型平面外観検査装置

トレイ交換により、トレイ中の個片または基板の外観を高速で検査を行います

2ステージタイプ汎用型平面外観検査装置は、XY軸ロボットでカメラおよびトレイを移動させ、トレイに並べられたワークを高速で連続検査します。トレイ交換により、トレイ中の個片または基板のいずれかの検査が可能になります。個片検査の場合は不良品排出、良品補充、方向整列機構を付けることが可能です。基板検査の場合はバッドマーキングを行うことが可能です。画像検査能力を上げるため、高画素カラーカメラとモノクロカメラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン

【課題解決事例】iVisionロボ

手置き検査の効率化！トレーに入った品目や1台のカメラで検査しきれない広…

き検査機で1つずつ検査機にセットするのが面倒」「検査機の前から 離れることができず、省力化に繋がらない」等といったお困りごとを当社の 『iVisionロボ』が解決いたします。 汎用型のXYステージに外観検査システムを組み合わせる事により、 繰り返し検査や広範囲の検査が可能な比較的安価なシステムとなります。 カメラ、照明とステージが移動する事により、トレーに並べられた品目や 基板...

メーカー・取り扱い企業： ナガセ研磨機材株式会社 本社

原子間力顕微鏡

C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプ…

導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法（KFM）、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法（sMIM）などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。 ■サンプルサイズ ：最大100 mm角 ■ステージ移動距離 ：100 mm ■XY走査範囲 ： 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■Z走査範囲 ： 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■XY走査分解...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

高速表面形状スキャンニングシステム『NAZCA-3D』

あらゆる対象物に対応！表面形状を非接触・非破壊でリアルタイム3D処理を…

『NAZCA-3D』は、対象物の表面形状を広範囲に高速で、かつ正確に 測定するシステムです。 非接触レーザ変位計と電動2軸ステージを専用の治具に装着し、XY方向に 走査することで高速に3Dデータを生成します。 生成された3Dデータは様々な用途に合わせ、3D表示、計測、特殊測定など 高度画像処理を用いた解析を行うことができます。 【特長】 ■非接触・非破壊で表面形状を3D化...

メーカー・取り扱い企業： 三谷商事株式会社 ビジュアルシステム部

スクラッチ装置

高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全…

『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社

広視野温度可変反り検査装置『HVI-S10000C』

対流加熱式でリフロープロセスを再現！20℃～300℃までの任意温度に加…

『HVI-S10000C』は、計測範囲160×136mmでバンプ除去不要の 広視野温度可変反り検査装置です。 共焦点法を用いており、サンプルへの塗装や部品を除去する必要がなく、 バンプ高さ、コブラナリティに加え、基板の変形も同時に高精度な検査を実現。 Zステージに設けられたナノ分解能のリアルスケールにより、 シャッタのタイミングが制御されるため、高速でありながら正確な Z位置で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東光高岳 光応用検査機器事業本部　検査機器営業部　営業G

基板検査装置

ワーク平面上の外観検査に最適！設定が驚くほど簡単で、現場作業者も高評価

サンゲンの自動外観検査装は、XYステージに外観検査に定評のある、FlexInspectorを搭載しています。良否判定の結果をモニター上に表示できるため、不良箇所の特定が簡単に行えます。バックライト照明の設置が可能で透過光を利用した検査...

メーカー・取り扱い企業： サンゲン株式会社