既設機械への組込みも簡単！パイプ式コンベヤ「パイコン２１」　

PR臭気や粉塵にお困りの方へ！密閉したコンベアによる搬送により、工場内の粉…

『パイコン21』は、切粉・チップ/紙・プラスチック専用のパイプコンベヤです。 クーラントセパレータ、ブローチ盤、旋盤、洗浄器、フライス、プレス等 どんな機械にも大型小型を問わず組込みが可能で、既設ライン環境を邪魔せず 自由にカスタマイズ可能。 粉体からチップは勿論、ヘドロ、ゴミ類、殻類等の搬送に適しています。 【こんな方におすすめです】 ■工場内の粉塵飛散や臭いが気になる ■作業環境の清掃に時...

メーカー・取り扱い企業： 真企機工株式会社

重量物位置決め微調整紙『すべるんペーパー』（片面タイプ）

PRバナナの皮のように滑る紙で『あと数センチの微調整』ができます。 【摩…

『すべるんペーパー』は、 大型機械などの重量物を設置する際に重ねて敷くことで、 前後左右自在に、スーっと滑らせることができ、 細かい位置調整を簡単に行うことができる重量物位置決め微調整紙です。 ◇３種類 コンパクトな巻きタイプ「SB-A30R」 幅広巻きタイプ「SB-A50R」 カット不要のシートタイプ「SB-A20」 一般的に"滑る＝危険"ですが、工夫すれば"滑る＝便利"...

メーカー・取り扱い企業： あすまる本舗株式会社

プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』

2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献

『SPE-2136A』はφ4～φ6インチウエハに対し、 残渣除去・表面改質・アッシング処理が可能なプラズマクリーナー装置です。 自動搬送機構が付属しており、ウエハ割れの防止や ウエハ移載にかかる人件費・作業時間を削減可能。 プロセス室はウエハを2枚同時に処理でき、 高いスループットを実現しています。 【特長】 ■1400(W)×3000(D)×1900(H)mmのコンパク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

【仕様】 ○到達圧力 6.7×-5Pa以下 ○排気速度 大気圧より4.0×10-4Pa迄20分以内 ○蒸発源 電子銃270°偏向、電源16kW ○基板加熱 MAX150℃　常用100℃ ○膜厚分布 ±1%以内 (バッチ内、バッチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

高出力RFイオンソース 「ISG-180」

広範囲で安定した放電を実現した高出力RFイオンソースです。

A / ビーム電圧 1500V / 　イオン電流密度100μA/cm2以上の高出力イオンソース ○イオン電流密度分布±10％以下（1300、1550装置にて）の均一性をハイパワーで達成 →Sapio-1300 での測定結果。株式会社昭和真空指定条件に限る ○ニュートラライザーにオートマッチャーを採用し、 　確実な着火性能と安定化を図った ○新開発コレクター電極（特許出願中）の採用に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

【仕様】 ○到達圧力 10-4Pa 台 ○排気速度 大気圧より6.7×10-3Pa 迄20 分以内 ○内部治具 自公転式　6軸（Φ440mm×H1650mm/軸：ワーク搭載エリア） 　　　　　　　　　　 8軸（Φ360mm×H...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」

膜厚分布：トレー内 ±1.2％、トレー間 ±1.5％を達成しました。

【性能】 ○膜厚分布　トレイ内 ±1.2%　トレイ間 ±1.5% ○ターゲット使用効率　４４％（最大） ○タクト　3分／サイクル　 ※1枚目を除く ○到達圧力　仕込室 1.0×10^-3Pa以下　SP室 1.0×10^-3Pa以下 ○排気時間　仕込室 2.0×10^-2Pa迄　3分以内 　　　　　　SP室 1.2×10^-2Pa迄　10分以内 ○基板加熱温度　150℃以上を確認 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

高真空アニール装置 「SAF-52T-II」

生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。

法　Ｗ1700mm×D900mm×H1700mm ○装置重量　約1200kg [所要諸元] ○所要電力量　3相，200V，22.4KVA (64.7A) ○所要水量　入圧：0.3～0.4MPa　　 差圧：0.2MPa以上 　　　　　　水温：20～25℃ (但し運転中結露無き事) 　　　　　　流量：約0.66m3/hr (11L/min) ○所要空圧　供給圧：0.5～0.7MPa　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

アーク放電型イオンプレーティング装置 「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

【仕様】 ○真空槽／φ400×D450 ○到達圧力／10^-3Pa台以下 ○排気速度／6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法／自動 ○基板加熱／MAX350℃ ○成膜方法／自動 ○成膜速度／2500Å/min(Tin 100A) ○蒸発電源／...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

ホローカソード方式 イオンプレーティング装置　SIH-400T

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

340 × D1120 × H1938 ○重量　本機：約1000kg ○所要電力　3Φ　AC200V　約29kVA（84A） ○所要水量　約1.6m3/h（約27l/min）　差圧 0.2MPa以上 ○所要圧空　約0.5MPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空