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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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ハイバリア蒸着フィルムの基礎とコーティング技術、高機能化、開発例
真空蒸着技術、イオンプレーティング技術、プラズマCVD、2元蒸着技術等…
【講 師】久留米工業高等専門学校・生物応用化学科。教授、工学博士 伊藤 義文 氏 【会 場】川崎市産業振興会館 第5会議室 【神奈川・川崎駅】 【日 時】平成22年10月28日(木) 13:00〜16:30 【16:00講義終了。16:00-16:30:フリータイムQ&A】...【講演主旨】 アルミ蒸着フィルムは、1970年代のオイルショック後のアルミ箔代替として、優れた...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社AndTech
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