【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

酸化物，窒化物成膜関連製品

MPSの酸化物，窒化物成膜関連製品を紹介します．

下記紹介でご不明な点がございましたら，お気軽にお問い合わせください．...【特徴】 ○抵抗加熱式蒸着装置…小規模の光学膜生産用として使用．光学膜を作るための抵抗加熱式蒸着装置 ○熱+プラズマCVD装置…窒化物を作るための実験装置．熱とプラズマの併用も可能 ○EBPVD装置…100kWの直進銃を搭載したEBPVD装置です。新しい断熱膜の研究開発用として使用 ●詳しくはお問い合わせ，または...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MPS