【SH 高温基板ヒーター】PVD, CVD用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ等）均熱性・再現性に優れた高真空 超…

ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社