【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

下地強化処理サービス

PVDの密着性を向上させる複合処理技術

【複合処理技術】 CVDが化学反応による“結合”に対し、PVDは衝突エネルギーによる“蒸着”であるため、密着性は一般的に劣ると言われています。 PVDの密着性を向上させるには、母材表面とコーティング皮膜硬さの差を縮めることが有効となります。特にPVDの高硬度化に伴い、 その差は拡大しています。そこで弊社では、下地強化として次の技術を取り入れています。 【概要】 ■面粗度向上、再表層硬さ...

メーカー・取り扱い企業： SEAVAC株式会社 本社