【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

パターニング加工

研究開発に！試作に！実験に！当社の加工技術をお役立て下さい

当社の『パターニング加工』では、8,12インチデバイスライン、MEMS デバイスライン、6インチ以下デバイス試作ラインにて各プロセスの加工を アシストする受託ファンドリーサービスを行っています。 半導体素子、MEMS構造、めっき、エッチング（Deep-RIE、Dry＆Wet)用の レジストパターニングの手法としてアライナー、ステッパー、EBでの 露光・現像が可能です。 また、ポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アシストナビ

スパッタリングコーティング(成膜)サービス

試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします！

『スパッタリングコーティング(成膜)サービス』は、低音高速マグネトロン スパッタを利用したアシストサービスです。 試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします。 各種CVD・EB蒸着・イオンプレーティングも承ります。 立会作業も別途ご相談下さい。 【特長】 ■低音高速マグネトロンスパッタの利用が可能 ■３カソード方式で３層まで同一真空内で積層可能 ■基板加熱3...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アシストナビ