フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

製品案内　装置

表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

北野精機株式会社では、表面分析用チャンバー（極・超高真空）もしくは 蒸着用チャンバー（超・高真空）を製作しております。 材質は、ステンレス鋼もしくはアルミが標準となるほか、非磁性等の材料も選定可能。 フランジには、ICF規格・ISO規格・JIS規格を基本的に使用しております。 また、特型の指定フランジも接続可能な設計製作を承ります。 使用真空度に合わせて、表面処理はGBB処理・バ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社