マイクロ波発振器『MPSシリーズ』

PR独自設計で粉塵環境や結露に強い。

『MPSシリーズ』は、小型の熱交換器を内蔵し、粉塵環境や結露に強い完全水冷式のマイクロ波発振器です。 CE認証を取得済みで、電源部と発振部はセパレートタイプを採用。 外部コントロール機能も充実。 均一かつ急速での加熱に対応し、表面処理用途に適しており、 半導体・食品・化学業界などの現場で活用可能です。 【ラインアップ】 ◎プラズマ励起用 ■3kWマイクロ波発振器「MPS-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッシン

【省人化＆保管大幅改善】ジャロックの自動倉庫ソリューション

PRフォークの作業工数を軽減し入出庫作業の負担を解消。2024年問題に伴う…

人手不足や保管スペース不足から倉庫の自動化・省人化を取り入れたいとお考えの方は多いです。 ジャロックでは、このうち食料や飲料など、同じ品種を大量に保管するタイプの倉庫（DC型・備蓄型）に向けて2種類の自動倉庫を展開しています。 ■オートムーバー 3つの機工からなるシステムで、上下左右、奥行への移動を実現。スピーディーな入出庫と完全自動化を可能にします。 ■シャトルランナー 間口に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャロック

膜厚調整トリミング装置

独自に開発したイオンソースを使用し、優れた膜厚均一性を達成します。

原理：DCベースイオンミリング 特徴： シンプルで頑丈な構造 素早い反応時間（切削量に応じて） ０エッチング可能 DCベースソース（グリッドレス、フィラメントレス）でシンプルなメンテナンス 適用例: SAWフィルターの温度補償層（SiO2）の膜厚調整、LTO,AlN膜等の膜厚調整 AlN, LTO等圧電膜の膜厚、周波数調整 その他導電体、非導電体膜の膜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

圧電膜成膜装置

MEMSやFBARの生産に特化した成膜装置です。

米国AMS社スパッタ装置(圧電膜、誘電体膜、メタルスパッタ装置)は、Al膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜において高い面内均一性を達成します。 ...原理：DC，AC（デュアルマグネトロン）スパッタリング 特徴 AlN、AlScN（圧電）膜、Mo（メタル）膜の成膜 優れた応力制御/分布 結晶性 高スループット 高歩留まり 高いメンテナンス性 200 mm　ウエハ対応 非常にコ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー