高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【折損を確実に検出】工具折損検出装置『FEM』

PR新たにステッピングモータ、カップリングレス構造を導入し、 製造部品の…

極東マシーンツールの工具折損検出装置は、ステッピングモータ、ギア・カップリングレス構造を導入することで、装置の長寿命化に成功しました。 また、センシングヘッドの交換スパンが長くなり、結果的に製造部品の生産効率向上、購入費用軽減によるコスト削減効果がもたらされます。 更に、センシングヘッドの先端に取り付けたニードルを回転させ、工具との接触により折損を確実に検出し、瞬時に機械を停止することができま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社極東マシーンツール 本社

貼り合せ装置『KAR02-2 TYPE』

接着剤の塗布、貼り合せ、UVスポット硬化までの一連の動作を1台の設備で…

『KAR02-2 TYPE』は、2枚の被着体を接着剤などを用いて貼り合せるための 装置です。 接着剤の塗布、貼り合せ、UVスポット硬化までの一連の動作を1台の設備で 行うことが可能。 光学弾性樹脂、接着材などを用いた貼り合わせに適しており、 また、下ステージを変更することにより、LCMの貼り合わせもできます。 【特長】 ■光学弾性樹脂、接着材などを用いた貼り合わせに好適 ...

メーカー・取り扱い企業： プレマテック株式会社