【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

半導体分野向け比抵抗計『UPW UniCondセンサ』

PR±0.5％以下の測定精度で、水質管理の信頼性を向上。評価結果などの紹介…

『UPW UniCondセンサ』は、大手半導体メーカーとの共同開発により 堅牢な構造と高度な温度補正機能を備えた比抵抗計です。 環境温度やプロセス温度の変化による測定値の変化や 信号ノイズを防ぎ、高い温度補償比抵抗精度を実現。 半導体分野における水質の正確な把握と歩留まりの向上に貢献します。 【特長】 ■±0.5％以下の測定精度を実現 ■ノイズと水質変化による干渉を区別し、高...

メーカー・取り扱い企業： メトラー・トレド株式会社

【半導体分野へご提案】表面検査装置・レジスト・精密位置制御

弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提…

弊社が得意としているナノオーダーの表面解析機器の他、 半導体プロセス向けのレジスト液、マスクレス露光装置、精密位置制御装置をご提案致します。...【表面検査】 ◆原子間力走査型電子顕微鏡（AFM&SEM in situ測定） by Quantum Design North America ◇原子間力顕微鏡（AFM） by Nanosurf ◆散乱型近接場光赤外顕微鏡（Nano-FTIR） ...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

SUSS MicroTec 両面位置精度測定器 DSM8Gen2

ウェハ表面/裏面のパターンの位置ズレを高精度で測定

DSM8/200 Gen2は2～8インチウェハに対応した両面位置測定装置です。 TIS（装置起因誤差）を除去する機能を備えており、MEMS、パワーデバイス、光デバイスといった分野の両面パターニング基盤において、高精度な測定を実現しています。...・装置仕様 　対応基板サイズ：2~8インチウェハ 　測定精度：0.2um (3σ) 　可視光観察 　非接触プリアライナー ・オプション ...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RS-1300】

抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RS-1300】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。...【X-Yプローブ軸移動によるセミオート測定システム（ローダー/アンローダーロ...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

計測 / 制御 / 測定/メカトロ二クスの設計・製作

計測 / 制御 / 測定/メカトロ二クスの設計・製作

様々な分野の機器を1社で開発から、 試作・量産・組立・配線まで一貫して 行うことが可能です。 営業部、技術部、製造部の各スタッフが高いスキルで お客様のご要望にお応えし、ご満足いただける製品を 提供いたします。 また、コストパフォーマンスにも自信があります。...様々な分野の機器を1社で開発から、 試作・量産・組立・配線まで一貫して 行うことが可能です。 営業部、技術...

メーカー・取り扱い企業： 横浜電子株式会社

株式会社ジャステム　事業紹介

測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム

株式会社ジャステムでは、Si、SiC、サファイア等を対象とした、ウェーハ非接触厚さ測定機、ウェーハ厚さ仕分け機、ラップ・ポリシング加工機の自動化装置、ウェーハ移載機などウェーハ製造工程における自動化・省力化機械を独自技術開発により設計・製作・販売を行い、多くのお客様に提供させていただいております。 シリコンウェーハ製造産業向けのノウハウを応用しSiCウェーハ、LED基板用サファイアウェーハ、太陽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

ナノ分解能ピエゾ位置決めステージ

ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは世界中で、各種色々な分野で使用させて…

ナノ分解ピエゾ位置決めステージは、透空孔のある直線圧電プラットフォームであり、搭載物をナノメートル単位の精度で移動させることができます。ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは高い信頼性と高い解像度を持ち、非常に優れた運動直線性と平面性、およびより高い機械的強度を備えています。主に顕微鏡ステッピング移動などで使用され、光学システムの解像度を向上させるための高速なステップおよび安定した運動を実現します。こ...

メーカー・取り扱い企業： ワイヤード株式会社

電動アクチュエータ　CHX （精密ステージ） [THK公式］

超薄型、高剛性、高精度を実現

THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ　CHX（小型アライメントステージ）は、超薄型でトップテーブルの小型化を実現、高剛性・高精度の特長を持ちます。光学機器、医療機器、バイオ事業、太陽電池、光学レンズの貼り合わせ装置、ブローブ検査装置、チップデバイス露光・印刷、散布装置、微細レーザ加工機、チップマウンター用アライメントなど、高精度の求められる様々な分野の装置に使用されています。 ...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

【部品加工】切削加工事例（３）

ステンレスの切削加工事例をご紹介。 切削加工に限らず、旋盤や板金、溶接…

弊社にて加工しました切削加工の事例を紹介します。 品名：ガイドブロック ・材質　　：SUS304 ・サイズ　：100 x 140 x 10mm ・精度　　：平面度0.02 ・用途　　：半導体装置用部品 金属、非鉄金属、樹脂など材料を問わず、切削、旋盤、板金などの機械加工から表面処理まで多種多様な加工をワンストップで対応しますので、弊社に全て一括でお任せ下さい。 各...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AGORA TECHNO