真空・プロセスガス高速アニール装置『RTP/VPOシリーズ』

最大到達温度1,000℃！試作開発用途のほか、インラインシステムにも組…

『RTP/VPOシリーズ』は、卓上型タイプの 真空・プロセスガス高速アニール装置です。 SiCの熱酸化プロセス及びGaNの結晶成長など高い純度や安定性を 要求される研究開発に適している「RTP-150」をはじめ「RTP-100」や 「VPO-1000-300」を...

メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社

ウエハーマウンター

独自の真空貼付方式！塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対…

マウンター』は、ウエハー薄板化および薄基板工程流動を サポートする製品です。 LD、LED、MMICなどの薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に 貼り合わせ、カセットに収納。 アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応します。 また、WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能です。 【特長】 ■薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に貼り合...

メーカー・取り扱い企業： ダイトロン株式会社