真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

エアーターンバー

非接触で搬送可能！！

送できるため、従来の接触式ロールでは解決できなかった、傷・シワ・静電気の発生を防ぎます。 吐出面のエアーが均一に出る構造になっており、蛇行の発生はありません。 熱風・冷風の供給も可能で、乾燥・アニール・冷却などにもお使いいただけます。 表裏反転したり、ラインの方向転換も可能になりますので、装置レイアウトの自由度が高まります。 ...

メーカー・取り扱い企業： BELLMATIC株式会社