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159件 - メーカー・取り扱い企業
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18件 - カタログ
86件
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Φ4対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システムRTP-100
GaNの結晶成長をはじめ、急速・均一な熱処理を必要とする幅広いアプリケ…
『RTP-100』は、業界最小クラス、研究開発及び試作開発に好適な、 卓上型真空プロセス高速加熱炉です。 Φ4インチ対応、専用サセプタにより小片サンプルのプロセスも可能です。 最大到達温度1200℃で多彩なガスパージ環境に対応。 GaNやSiCなどの新材料の結晶成長やペースト材料の焼結など、 多目的にお使い頂けます。 【特長】 ■窒素ガス、酸素ガス、フォーミングガス（...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…
高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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真空・プロセスガス高速アニール装置『RTP/VPOシリーズ』
最大到達温度1,000℃！試作開発用途のほか、インラインシステムにも組…
『RTP/VPOシリーズ』は、卓上型タイプの 真空・プロセスガス高速アニール装置です。 SiCの熱酸化プロセス及びGaNの結晶成長など高い純度や安定性を 要求される研究開発に適している「RTP-150」をはじめ「RTP-100」や 「VPO-1000-300」を...
メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社
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大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…
水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現 デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理（べーく・アニール）に最適。 実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保 電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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残留応力を取り除くため、一定時間一定温度で加熱した後、徐々に温度を常温…
一般的にプラスチックのアニール処理は主に歪み取りが目的になります。 多くのプラスチックは高い圧力で金型に押し込められた状態で冷却されるため 歪みが発生する場合があり、これを残留応力とも言います。 寸法を重視する精...
メーカー・取り扱い企業： 多田プラスチック工業株式会社
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小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…
化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のＳｉウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温（１０００℃）均一加熱 ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…
ギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバンドギャップ半導体のバルク結晶からデバイスまでのバリューチェーンにおいて生産性を大幅に改善させるために開発されました。優れた温度制御(最高温度2200℃)、均一性、低クロスコンタミネ...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
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コンタクトアニール用ランプアニール装置『RLA-3100-V』
GaN基板の処理も可能！コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装…
『RLA-3100-V』は、6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応可能な コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装置です。 耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、 N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。 また、自動ウェーハ載せ替え機構を装...
メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…
Ｓｉプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。 ＧａＡｓ用のホットプレートタイプに比べ高温（９００～１０００℃）まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮
遠赤外線ヒーターの放射熱を有効利用してアニール時間を大幅に短縮します。 樹脂成形品のアニール処理を画期的に変えるシステムです。 ●処理時間の大幅短縮 遠赤外線の放射加熱及び熱風拡散を併用する事により処理時間を大幅に短縮できます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部 東京営業所
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ウェハプロセス対応 本格量産システム アニール・シンター・ポリイミドキ…
クリーンな真空中で均一加熱。高いクリーンネスや低酸素濃度を求められるプロセスに最適。縦型石英管型アニール装置。 最大８インチ相当のウェハや各種基板に対応。ＣｔｏＣシステム採用による自動化＆クリーンシステム。 中温から高温まで安定した温度分布性能と急令機構による短タクト処理 真空だけでなく各種雰...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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ニーズに合わせたラインアップ！成膜装置や、ランプ加熱によるアニール装置
大村技研では、お客様のニーズに合わせて、成膜装置や ランプ加熱によるアニール装置を設計・製作します。 縦型LP-CVD装置、縦型アニール装置、PE-CVD装置、 MO-CVD装置をラインアップしています。 【特長】 ■ニーズに合わせた設計・製作 ■成膜装...
メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社
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品質保持の為、必要に応じて応力緩和のアニール処理をしております！
『アニール処理』は、できあがった成形品を専用のオーブンにいれて 加熱処理することで残留応力、残留歪みを取り除く処理のことです。 当社では、品質保持の為、必要に応じて応力緩和のアニール処理を してお...
メーカー・取り扱い企業： サンエツ工業株式会社
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シリコン薄膜をアニール(焼く)する装置の小型化・軽量化を実現した事例を…
半導体業界へ「アニール装置」を改造した事例をご紹介いたします。 既存機の電気設備の老朽化の為のリニューアルが必要でした。 チャンバー内を低真空にして窒素を注入して搬送させ、アニールする機械で ストッカから...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社西野製作所
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熱源はSiCヒーターを採用！高いクリーン性能を実現した高純度アニール炉
『石英ガラス 高純度アニール炉』は、アニール工程における 石英ガラス製品の表面汚染を大幅に減少させることが可能です。 ステンレス炉体と高純度断熱材を採用し、高いクリーン性能を実現。 処理製品の大口径化、長尺化に...
メーカー・取り扱い企業： アドバンエンジ株式会社
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光学フィルムなどのデリケートな素材に傷を付けることなく円滑に洗浄！
ラインにしています。 【特長】 ■特許取得済 ■振動・水流・マイクロバブルの組み合わせ ■表面に貼りついたごみやほこり、皮脂や油脂を除去 ■テスト機では洗浄後にエアナイフで水を切り、アニール炉でのアニーリングや乾燥が可能 マイクロバブルを併用すると分散した汚濁物の凝集効果や浮上分離を促進します。 加えて振動がマイクロバブルを機械的に壊すためさらに効果が上がります。 ハイブリ...
メーカー・取り扱い企業： SANDO TECH株式会社
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R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した 活性化アニール炉です。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～6インチまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまで お...
メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…
安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用超高温ウエハーアニール炉。 ◆主な特徴◆ ・セミオート：真空・パージ（3 cycle）〜 ベントまでを自動シーケンス制御（標準） ・手動プロセス圧力制御（標準）：手動ベローズバルブ調整 ・有効加熱範囲：φ4...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉
当社製の遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉です。 処理時間の大幅短縮、コストダウン、インライン化に最適です。 （特長） ●早い加熱処理 例その１：自動車ヘッドランプ 溶着後の歪除去 ６０分⇒５分 例その２：ＩＣトレー ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部 東京営業所
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生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。
高真空アニール装置 「SAF-52T-II」は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行うことを目的として開発された装置です。 W460×D350×H35mm ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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「熱による変形を防ぎたい」「寸法や形状を安定させたい」といったお悩みが…
通常、熱が加わると基材が大きく縮みます。 しかし『アニール加工』をあらかじめ熱処理をすることで 縮み量が小さくなり、熱が加わっても基材がほとんど縮みません。 『アニール加工』は、各種フィルムに熱処理加工を施すことにより、 次工程以降での耐熱寸...
メーカー・取り扱い企業： 大槻工業株式会社
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【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置
小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…
背面にチャンバーがせり出しませんので、スペースを取りません。 【MiniLab対象】 ◉ MiniLab-026（26ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール ◉ MiniLab-090（90ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、EB蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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最短1秒で新旧原反を繋ぐプライス装置や、基材を傷付けない洗浄機など、保…
材(ワーク)に傷を付けることなく円滑な洗浄が可能です。 水槽内に設置した装置から水を噴出させ、その噴出流によるバイブレーション効果(振動)によってワークを洗浄します。 洗浄機ラインの後方にアニール炉がありますので、アニール処理のみの試験も可能です。 『インク剥離・洗浄機』 フィルムに印刷されたインクを剥離及び洗浄します。片面印刷、両面印刷、両方対応可能です。 ※詳しくはPD...
メーカー・取り扱い企業： SANDO TECH株式会社
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高温アニール炉の世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプリケーション別、…
グローバル市場調査レポート出版社であるQYResearchは「世界の高温アニール炉の供給、需要、主要メーカー、2024 ～ 2030 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国における高温アニール炉の販売量と販売収益を調査しています。同時に、高温アニール炉の世界主要...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
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携帯電話部品・車載品など小型部品のアニール処理に最適な連続加熱炉
携帯電話部品・車載品など小型部品のアニール処理に最適な連続加熱炉です。 （特長） ●遠赤外線の持つ浸透力により、処理時間の短縮が可能。バッチ炉120分⇒１０分以下 ●高精度な温度分布が可能。温度精度±３℃ ●省スペース化が可能...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部 東京営業所
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バッチ式アニール焼成炉
［仕 様］ ◆使用温度‥‥‥‥600℃ ◆炉内均一性‥‥‥600℃±3℃ ◆ＰIDプログラム温調 ◆炉内寸法‥‥‥‥ご希望の寸法に対応 ◆外形寸法‥‥‥‥幅900mm×高1650mm×奥行1500mm ◆使用電源‥‥‥‥3相 200V 20KVA ...●アルミナボード材にヒーターを組込築炉、SUSマッフル炉にすることで炉内の均熱性を高めています。 ●内...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒートテック
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真空アニール装置
液晶ディスプレイの注入後の気泡や色ムラ等の不良を解消するための装置です。 注入前に加熱して真空引きすることにより、セル内部の水分や有機ガスを除去できるので、パネルの品質も向上させることが出来ます。内部ヒーターやファンの改良により、クリーン度の高い槽内環境を実現しました。 当社独自の技術により、真空加熱中の温度分布がよく、プロセス時間も短縮されます。...液晶ディスプレイの注入後の気泡や色ムラ等...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社協真エンジニアリング 本社
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高圧アニール装置
LCD用低温ポリシリコンTFT基板や半導体ウェハの素子特性を向上させ、均一化するための装置です。 従来は1300℃で熱酸化させていた工程を、この装置では水蒸気で加圧加熱することにより600℃以下の低温で同じ効果を得ることができます。...LCD用低温ポリシリコンTFT基板や半導体ウェハの素子特性を向上させ、均一化するための装置です。 従来は1300℃で熱酸化させていた工程を、この装置では水蒸気...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社協真エンジニアリング 本社
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【50年以上の実績】サイリスター全自動電気炉2基にて精度の高いアニーリ…
、 精度高いアニーリング（焼鈍）を行うことが可能です。 50年以上の経験と、豊富な知識をもとにアニーリング（焼鈍）を行うことによりお客様より高い評価を頂いております。 小ロットのご依頼やアニール処理のみのご依頼も承っております。 ご興味をお持ちの方は是非一度お問い合わせください。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： サトウ電機株式会社
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石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…
「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ ・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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ポリイミドキュア装置（３００ｍｍウェハ対応 クリーンベーク装置）
３００ｍｍウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基…
真空置換後の低酸素雰囲気（N2）中で高均一性熱風加熱。300mm ウェハをカセット単位で加熱処理。システムLSIポリイミドキュア、フレキシブルプリント基板キュア・アニールに対応。３００ｍｍウェハカセット単位のキュアリングで高品質化と量産化を両立 ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
ストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。 フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。 ◉ 最大基板サイズ：...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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【サノヤス精密工業(株)】熱変形を最小限に抑えた真円度精度を確保した円…
当社は、試作から量産に至る材料手配から、加工・表面処理・組立までの 一貫生産で、お客様のご要望に沿ったコスト・品質・納期対応、更には 提案力のある製品づくりを目指しています。 アニールによる熱変形抑制を強みとし、真円度を確保できる旋盤加工技術、 3次元測定技術を保有。 鍛造素材、鋳造素材はじめ幅広い素材の金属加工に対応し、長年培ってきた 独自の技術やノウハウを駆使して...
メーカー・取り扱い企業： サノヤスホールディングス株式会社
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高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱 乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…
空ガスフロー処理、複数の処理モードを１台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。 真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品 高速加熱アニール 実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応 目的に合わせて小型からラインナップ。...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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フィルムの収縮やカールでお悩みの方に！原因と防止方法を詳しくご紹介
当資料では、フィルムの加工時に起こる現象の原因とその防止方法について 詳しく解説しています。 当社の技術である「アニール加工」をはじめ、「アニール炉での高温処理」、 「素材の設計変更」など、様々な方法をメリット・デメリットを交えながらご紹介。 課題解決事例も掲載しておりますので、ぜひ、ご一読ください。 ...
メーカー・取り扱い企業： 大槻工業株式会社
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自動車ランプ向けに開発されたハイブリッド溶着。そのデザインガイドがリリ…
発されたLPKF社のハイブリッド溶着。LPKF社のターニングポイントとなりました。ハロゲン熱とレーザー熱とクランプが小型の一つのユニットになっており、ハロゲン熱による緩やかな加熱のおかげで溶着後のアニール処理も不要。これまで時間をかけていたアニール処理が削減できるだけでも、タクトタイムは劇的に削減できます。 この度ハイブリッド溶着に特化したデザインガイド日本語版をリリースしました。ご興味おあ...
メーカー・取り扱い企業： LPKF Laser&Electronics株式会社
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寸法安定度が低い樹脂製品でも！アニール処理などで寸法精度を高める提案を
な穴に薬品を通す為、一般化学薬品・溶剤など 様々な流体(液体・気体)に侵されることがないフッ素樹脂を採用。 また、フッ素樹脂は切削加工だと寸法安定度が低い為、通常公差±0.1 程度ですがアニール処理を行うことにより公差±0.05程度まで 抑えることが可能です。 【事例概要】 ■名称：フッ素樹脂製特殊ガスケット ■材質：フッ素樹脂 ■寸法：外径φ100×内径φ75 穴φ1.5...
メーカー・取り扱い企業： 太陽ゴム工材株式会社
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創立97年を誇るMade in Germany電気溶接機！！ ヘビー…
（ワイヤーが溶け込む量）・バネの押圧力・ジョー間距離の溶接条件を個別に設定可能 ◇突合せ溶接を高めるデュアルフォース溶接（DD)をオプションあり ◇ミドルカーボン/ハイカーボン線の溶接に必要なアニール装置を 用途に応じて選択可能。 ・EGV：ボリュームスイッチにてアニール電流を無段階に調整する事ができ、自動オフするタイマー付き ・GSR：サイリスタ自動焼鈍+サイリスタ温度計付で、温度1...
メーカー・取り扱い企業： 東邦インターナショナル株式会社 本社
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プラスチック製品の加工・射出成形・金型製作ならお任せください。
ノウハウで満足頂ける金型を製作 ○試作金型から量産金型まで最新の設備と確かな技術、 経験を生かしたアイデアで製作 ○金型のみの製作も対応可能 [組立（サブAssy）・二次加工・調湿処理（アニール処理）] ○成形品以外のダイキャスト・バネ・汎用ネジや特注ネジ・ シール、 ゴムなどの他部品も協力工場から自社で調達し、Assy品ユニット として納品 ○ナイロン樹脂等の調湿処理(アニ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社眞英樹脂工業
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工程改善を行う事で品質を安定！工程内の歩留まりがよくなることでコスト低…
みが出やすく、初回製作時は 平行度0.02や、高さ15 ＋0.02/0、穴位置8.3 ＋0.02/0など厳しい公差部の 公差外不良が多発し、かなり歩留まりの悪い状態でした。 対策として、アニール処理の提案を行いました。 加工前に材料にアニール処理を 行うことにより、コスト的には処理費が追加になりましたが、歪みを低減することができたため不良が減り、 安定した品質でお客様へ納品することが...
メーカー・取り扱い企業： 佐渡精密株式会社
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大槻工業の加工アイテム別、マシン仕様概要をご紹介します
フィルム材料の表面処理等の加工を取り扱う、大槻工業株式会社の加工 アイテム別マシン仕様概要をご紹介します。 アニール加工やコロナ処理のほか、コーティングマットといった加工 アイテム別に、基材幅、最大径、コアの数値を掲載しています。 製品仕様やマシン制約により加工出来ない場合がございます。 【加工一...
メーカー・取り扱い企業： 大槻工業株式会社
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より高精度にモノづくりができる加工技術を提案します。
→厚さ15ｍｍ、サイズが300×400ｍｍのアルミプレートで20～30ミクロン （加工内容により大きくことなりますので、別途お問い合わせください） ○要望により社内で材料の内部応力を除去するアニール処理（熱処理）、 より平面度、平行度の良い製品作りを追求するお手伝いも可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社蒲郡製作所
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