◆OLED◆ 有機蒸着・高温用金属蒸着セル Max1500℃

PR有機蒸着源〜800℃、金属蒸着源〜1500℃、真空用 高温加熱セルとし…

OLED蒸発源は最高使用温度1500℃の真空蒸着用 高温蒸着ソースです。 固定ベースを外さずにボディを差し替えるだけで、有機EL等の低温有機蒸着（～ 800℃）用セルと高温加熱（～ 1500℃）セルを交換することができます。 真空成膜用ソースとしてお使いの場合はシャッター・アクチュエータも用意。 800℃以上の高温ヒーターとしてお使いの場合は、内部シールド構造を備え、断熱・熱遮蔽を考慮した設...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

グラインディングセンタ用NC円テーブル

PR研磨加工、ガラス加工、セラミック加工など粉塵環境下の使用に威力を発揮

〇特殊シールとエアパージにより本体内への切粉、研磨粉などの粒子の侵入をシャットアウト 〇エア消費量の小さいパージ構造 (0.3L/min) 〇発熱の小さいシール構造 〇長寿命シール 〇シール部の清掃交換が容易な構造 〇コンパクトな胴厚 〇特許出願済...★炭化ケイ素とアルミナを混濁させたスラリー内で100万サイクル*の耐久試験をクリア * 1サイクルは 正転180°→ 正転180...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社北川鉄工所

ポーラスチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔径を有している為、従来の吸着面に1.5mm程度の溝を掘って吸着するチャックと比較し、溝部分に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3D-01661吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。

被搬送物 SEMI規格300mm 主にシリコンウェーハなど 材質 高純度アルミナセラミックス焼結体 表面処理 導電性テフロンコーティング ウェーハ保持方式 真空吸着 全長 242mm 厚み 3mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル