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測定例を多数掲載!CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご…
【その他の掲載内容(抜粋)】 ■例1:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:分光干渉式Si厚み ■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■例2:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:色収差共焦点によるステッ...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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CHRocodile 2DPS+CHRocodile 2IT
半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介!
当資料は、ウェハー厚み測定センサーについて掲載しています。 接触ゲージとの置換に好適な「CHRocodile 2シリーズ」をはじめ、 半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介。 ぜひ...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」
振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管…
【半導体アプリケーション】 ■高速BGA計測 ■高速基板検査 ■高速ウェハー厚み計測 ■高速反り計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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サイクルタイムを短縮!汎用性があり、簡単に使えるように設計されている光…
『NCG』は、光干渉技術による厚み測定器です。 連なる光の波がワークの接合部面で反射し戻された干渉により層の厚さを 計算し、計測。ガラス、プラスチック、シリコンウェハー等、異なる材質の 厚みを管理するように設計されています。 当製品は、様々なマシンに接続し、高精度かつ高速に部品の厚さ管理ができ、 スペック上の仕様制限内のドライまたはウェット環境で機械上...
メーカー・取り扱い企業: マーポス株式会社
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アナログI出力付!CHRocodile 2IT DW1000をご紹介し…
【ドープウェハー各種測定結果】 ■Dopped wafer ・P-(1-150Ω・cm) ・N-(1-200Ω・cm) ・P+(0.01-0.02Ω・cm) ・P++(0.005-0.01Ω・cm)98...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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