フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【資料】非接触厚み及び形状計測センサー

測定例を多数掲載！CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご…

【その他の掲載内容(抜粋)】 ■例1：ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例：分光干渉式Si厚み ■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■例2：ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例：色収差共焦点によるステッ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

CHRocodile 2DPS＋CHRocodile 2IT

半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介！

当資料は、ウェハー厚み測定センサーについて掲載しています。 接触ゲージとの置換に好適な「CHRocodile 2シリーズ」をはじめ、 半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介。 ぜひ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」

振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管…

【半導体アプリケーション】 ■高速BGA計測 ■高速基板検査 ■高速ウェハー厚み計測 ■高速反り計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

光干渉測定器『NCG』

サイクルタイムを短縮！汎用性があり、簡単に使えるように設計されている光…

『NCG』は、光干渉技術による厚み測定器です。 連なる光の波がワークの接合部面で反射し戻された干渉により層の厚さを 計算し、計測。ガラス、プラスチック、シリコンウェハー等、異なる材質の 厚みを管理するように設計されています。 当製品は、様々なマシンに接続し、高精度かつ高速に部品の厚さ管理ができ、 スペック上の仕様制限内のドライまたはウェット環境で機械上...

メーカー・取り扱い企業： マーポス株式会社

CHRocodile 2IT DW1000

アナログI出力付！CHRocodile 2IT DW1000をご紹介し…

【ドープウェハー各種測定結果】 ■Dopped wafer ・P-(1-150Ω・cm) ・N-(1-200Ω・cm) ・P+(0.01-0.02Ω・cm) ・P++(0.005-0.01Ω・cm)98...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社