リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

クリーンルーム用ワイパー／マイクロファイバー

ふき取りづらい汚れもクロスでキレイに拭き取り可能！クリーンルームや半導…

トレシーは、東レの超極細繊維（マイクロファイバー）を使ったクリーニングクロスです。 ミクロの繊維が油膜など様々な汚れの中に入り込み、普通の繊維ではなかなか拭き取れない汚れもキレイに拭き取ります。 繰り返し使うことができ、環境にも配慮した商品です。 また、その品質と性能は、ミクロの汚れを嫌うハイテク・エレクトロニクス産業でも高く評価され、クリーンルーム用ワイピングクロスとしても、様々な...

メーカー・取り扱い企業： 東レ株式会社 トレシー事業室