組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

【新製品】吸着搬送の電力削減に貢献！電動吸着ハンド「e-VEE」

PR電力削減率最大77％！エジェクタからの切替で吸着搬送を省エネ化・カーボ…

電動吸着ハンド「e-VEE」は吸着搬送に役立つロボット用エンドエフェクタです。 真空ポンプ内蔵のため圧縮空気の供給は不要、どこでも使用可能です。 コンプレッサの吐出圧力・流量を抑制することで、電力削減に貢献します。 入出力信号方式はPNP方式・NPN方式があります。ご確認の上、ご選択ください。 また、ロボットへ取付けの際は、弊社製「ねじ込み式 ツールフランジ」 または株式会社コスメック製「マニュ...

メーカー・取り扱い企業： 日東工器株式会社

高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）

エア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…

『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

昇圧ポンプユニット　UPPU-10LR

各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに

『UPPU-10LR』は、工場の超純水供給ラインの圧力が不足している場合に使用する昇圧ユニットです。 昇圧はエア駆動ベローズポンプにより行い、圧力を調整するためのエアレギュレータや吐出圧力モニターを有します。 【特長】 ■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給 ■エア駆動ベローズポンプを使用した超純水用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高圧ポンプユニット　KPM-5030

ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。

【仕様】 〇サイズ 　・W598×D548×H1224（mm） ○重量　150Kg ○吐出流量、圧力 　・33.5L/分、5MPa ○供給エア圧：0.4～0.7MPa ○純水仕様圧力：0.3～0.4MPa ○アラーム機能 　供給水圧低下 　インバータ出力異常...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

昇圧ポンプユニット　UPPU-10LR

各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに

『UPPU-10LR』は、工場の超純水供給ラインの圧力が不足している場合に使用する昇圧ユニットです。 昇圧はエア駆動ベローズポンプにより行い、圧力を調整するためのエアレギュレータや吐出圧力モニターを有します。 【特長】 ■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給 ■エア駆動ベローズポンプを使用した超純水用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高圧ポンプユニット　KPM-5030　※カスタマイズ可能

ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小！研磨ウエハ洗浄に好適

【仕様】 〇サイズ 　・W598×D548×H1224（mm） ○重量　150Kg ○吐出流量、圧力 　・33.5L/分、5MPa ○供給エア圧：0.4～0.7MPa ○純水仕様圧力：0.3～0.4MPa ○アラーム機能 　供給水圧低下 　インバータ出力異常 ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧くだ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト