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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR薄手!柔軟!だから多種多様な形状で使用可能な面状発熱体ヒーターです!
ただ発熱するだけじゃない! 【1】薄くてやわらかいから小型・軽量化に貢献 【2】昇温レスポンスが早いから大幅性能アップ 【3】自由な形状で設計できるから用途が広がる シンワの面状発熱体は、金属箔に電気を流して発熱させる薄いシート状の発熱体です。非常に薄くてやわらかい為、曲面や狭いスペースへの加熱に適しています。さらに回路をエッチングで形成する為、設計者の意図した発熱分布を得ることが...
メーカー・取り扱い企業: シンワ測定株式会社 FE部
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独自に開発したイオンソースを使用し、優れた膜厚均一性を達成します。
原理:DCベースイオンミリング 特徴: シンプルで頑丈な構造 素早い反応時間(切削量に応じて) 0エッチング可能 DCベースソース(グリッドレス、フィラメントレス)でシンプルなメンテナンス 適用例: SAWフィルターの温度補償層(SiO2)の膜厚調整、LTO,AlN膜等の膜厚調整 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー
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ロータリーダイシリンダー、ロータリーダイユニット<テスト受付中>
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株式会社三條機械製作所 -
高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置
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株式会社エイ・エス・エイ・ピイ