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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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設置場所の天井裏や機械設置スペース等を気にせず設計・設置が可能!
【導入事例】 ■半導体工業 ・結晶製造 ・表面処理 ・組立・検査 ■液晶 ・基板洗浄・表面処理 ・カラーフィルター ・エッチング・組立 ■電子機器 ・プリント基板 ・磁気ドラム・テープ ・シャドーマスク ■精密機械 ・ミニチュアペアリング ・ロケット用部品 ・時計・計器 ■光学・印刷 ・...
メーカー・取り扱い企業: 環境システム株式会社
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ロータリーダイシリンダー、ロータリーダイユニット<テスト受付中>
安定した切れ味と長寿命化を実現。高剛性ダイユニットは刃先のクリ…
株式会社三條機械製作所